Pompes à vide sec refroidies à l'eau 200m3/h,≤ 0,5Pa,1.9kw, GRM201

Le Baosià refroidissement par eaupompe à vide sèche GRM201,200 m3/h,≤ 0,5 Pa,1.9kw

Les spécifications

• Faible consommation d'énergie,
• une vitesse de pompage élevée,
• Une forte capacité d'élimination de la poussière,
• La capacité de transporter des gaz de procédé facilement condensés.

La vitesse de pompage stable le rend adapté aux procédés à gros volumes d'échappement, offrant une fiabilité élevée et de faibles coûts d'exploitation et d'entretien.et des processus exigeants tels que la PECVD, MOCVD et SiC-CVD dans des industries comme la photovoltaïque et les semi-conducteurs.
 

Caractéristiques du produit

• Utilise un moteur synchrone à aimant permanent pour une consommation d'énergie plus faible.
• La structure avancée du rotor améliore la capacité de dépoussiérage de la pompe.
• Insensibles à la poussière et à la vapeur d'eau dans le gaz pompé;
• Structure compacte, petite taille globale et efficacité élevée du système;
• Des fonctions de protection complètes et une forte adaptabilité;
• Faible vibration et bruit pendant le fonctionnement; un système avancé d'étanchéité des lèvres et d'étanchéité du labyrinthe, combiné à une purge d'azote, assure efficacement une chambre de pompage exempte d'huile,amélioration de la propreté sous vide de la chambre de traitement.
• Les fonctions de contrôle et de surveillance à distance sont possibles via l'interface E/S et l'interface RS-485 (protocole Modbus).

Paramètre technique

courbe de pompage

Le dessin

Applications:

Il convient à des processus propres, modérés et exigeants tels que PECVD, MOCVD et SiC-CVD dans des industries telles que le photovoltaïque et les semi-conducteurs.