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Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs
Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs
  • Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

Détails du produit:
Lieu d'origine: Chine
Nom de marque: Baosi
Certification: ISO9001,ISO14001,ISO45001
Numéro de modèle: GRM201
Informations détaillées
Lieu d'origine:
Chine
Nom de marque:
Baosi
Certification:
ISO9001,ISO14001,ISO45001
Numéro de modèle:
GRM201
Vitesse de pompage:
200 m³ / h
Pression ultime:
≤0,5 Pa
Puissance du moteur:
1,9 KILOWATTS
Tension:
380 V/triphasé
Entrée:
ISO63
Sortie:
KF25
Bruit:
≤63 dB(A)
Poids:
150 kg
Dimensions:
741×344×466 millimètres
Eau de refroidissement:
0,1-0,6 MPa, ≥3 L/min
Purge N2:
0,2-0,6 MPa, 12-50 L/min
Mettre en évidence:

High Light

Mettre en évidence:

GRM201 pompe à vide sèche multifase

,

pompe à vide compacte sans huile

,

pompe à vide à procédé propre à semi-conducteurs

Informations commerciales
Quantité de commande min:
1 ensemble
Prix:
negotiable
Détails d'emballage:
Emballage de caisse en bois standard d'exportation
Délai de livraison:
15-25 jours ouvrables
Conditions de paiement:
T/T
Capacité d'approvisionnement:
60 sets / mois
Description du produit

GRM201 Pompes à vide sèche à racines à plusieurs étages

Le GRM201 est une pompe à vide sèche à racines compacte à plusieurs étapes offrant une vitesse de pompage de 200 m3/h avec un fonctionnement ultra-silencieux à ≤ 63 dB (((A).Sa conception des racines en plusieurs étapes sans huile le rend idéal pour les procédés de semi-conducteurs propres et moyens, la fabrication photovoltaïque et les lignes de production de batteries au lithium qui nécessitent un vide sans contamination avec une empreinte minimale.

Principales caractéristiques

  • Conception des racines en plusieurs étapes:Faible consommation d'énergie avec un rendement de pompage élevé
  • Opération ultra silencieuse:≤ 63 dB (A) le plus silencieux de sa catégorie
  • Mécanisme sans huile:La chambre de pompage ne contient absolument pas d'huile pour la compatibilité des procédés propres
  • Moteur synchrone à aimants permanents:1.9 kW avec une efficacité énergétique supérieure
  • Traitement supérieur de la poussière:Structure avancée du rotor pour une meilleure émission de particules
  • - Une empreinte compacte:Seulement 741 * 344 * 466 mm, 150 kg ¢ facile à intégrer
  • Tolérance à la poussière et à la vapeur:Insensible aux sous-produits du procédé et à l'humidité
  • Une protection complète:Caractéristiques de sécurité complètes avec capacité d'adaptation
  • Contrôle intelligent:I/O et RS485 (protocole Modbus) pour la surveillance à distance
  • Triple scellement:Séchage des lèvres + séchage du labyrinthe + purge d'azote pour un vide sans huile garanti

Spécifications techniques

ModèleGRM201
Vitesse de pompage200 m3/h
Pression finale (sans épuration)≤ 0,5 Pa
Puissance du moteur10,9 kW
Voltage380 V (3 phases)
Connexion d'entréePour les appareils électroniques
Connexion de sortieLe KF25
Niveau de bruit≤ 63 dB (A)
Le poids150 kg ou plus
Dimensions (L*W*H)741 * 344 * 466 mm
Pression de l'eau de refroidissement00,6 MPa
Flux d'eau de refroidissement≥ 3 L/min
N2 Pression de purge00,6 MPa
Flux de purge de N212 ‰ 50 L/min
Température de fonctionnement5°C à 40°C; ≤ 90% de RH

Applications

  • Les procédés propres/moyens de fabrication des semi-conducteurs: ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
  • Photovoltaïque: Fours à croissance de cristaux, fabrication de cellules solaires
  • Batterie au lithium: séchage sous vide des cellules, remplissage d'électrolytes, dégazage
  • Laboratoires de R & D: Systèmes à vide universitaires et de recherche industrielle

Balises:

pompe à vide turbomoléculaire,

Pompes à vide élevé,

GRM201 pompe à vide sèche multifase

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