GRH6002 Pompes à vide à griffes sèches 6000 m3/h Pompes à vide sans huile ultra-haute capacité pour procédés de semi-conducteurs

Pompe à vide à becs secs GRH6002 — Solution à très haute capacité de 6 000 m³/h

Le GRH6001 est le modèle phare de la série GRH, offrant une vitesse de pompage impressionnante de 6 000 m³/h avec une pression ultime ≤0,5 Pa. Doté d'une entrée ISO250, d'une configuration à double moteur de 11+7,5 kW et d'une construction industrielle robuste de 846 kg, il est conçu pour les installations de fabrication à grande échelle de semi-conducteurs, photovoltaïques et de batteries au lithium les plus exigeantes.

Principales fonctionnalités

• Capacité ultra élevée :Vitesse de pompage de 6 000 m³/h — le modèle de la série GRH le plus puissant
• Technologie de griffe sans huile :Aucun risque de contamination par l'huile pour les processus de semi-conducteurs sensibles
• Système à double moteur :Moteurs synchrones à aimants permanents 11+7,5 kW
• Grande entrée ISO250 :Gère un débit de gaz élevé pour les lignes de production à grande échelle
• Gestion supérieure de la poussière :Conception avancée du rotor à griffes pour les environnements difficiles
• Construction de qualité industrielle :Construction robuste de 846 kg avec un encombrement de 1076*516*988 mm
• Faible bruit :≤70 dB(A) malgré une capacité de pompage élevée
• Étanchéité avancée :Protection triple couche : joint à lèvre + labyrinthe + purge à l'azote
• Intelligence à distance :E/S + RS485 (Modbus) pour une intégration complète en usine

Spécifications techniques

Applications

• Semi-conducteur à grande échelle : gravure à grand volume, implantation ionique, processus CVD
• Méga-usines photovoltaïques : croissance de cristaux et fabrication de cellules à grande échelle
• Gigafactories de batteries au lithium : séchage de cellules, remplissage d'électrolyte, dégazage
• Fabrication d'écrans plats : lignes de production LCD, LED, OLED