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GRM602 Pompes à vide à racines sèches à plusieurs étages 600 m3/h Pompes à vide à capacité moyenne sans huile pour processus de semi-conducteurs

Name: GRM602 Pompes à vide à racines sèches à plusieurs étages 600 m3/h Pompes à vide à capacité moyenne sans huile pour processus de semi-conducteurs
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM601
Price: 1,710.00 USD
Availability: InStock

Détails du produit:

Lieu d'origine:	Chine
Nom de marque:	Baosi
Certification:	CE
Numéro de modèle:	GRM601

Informations détaillées

Lieu d'origine:

Chine

Nom de marque:

Baosi

Certification:

Numéro de modèle:

GRM601

Vitesse de pompage:

³ /h de 600 m

Pression ultime:

≤0,15 Pa

Puissance du moteur:

1,9+1,9 kW

Tension:

380 V/triphasé

Entrée:

ISO100

Sortie:

KF25

Bruit:

≤63 dB(A)

Poids:

260 kg

Dimensions:

865×344×751 millimètres

Eau de refroidissement:

0,1-0,6 MPa, ≥4 L/min

Purge N2:

0,2-0,6 MPa, 12-50 L/min

Mettre en évidence:

High Light

Mettre en évidence:

Pompe à vide sèche sans huile GRM602

pompe à vide à racines à plusieurs étapes

Pompe à vide de processus de semi-conducteur

Informations commerciales

Quantité de commande min:

1 ensemble

Prix:

negotiable

Détails d'emballage:

Emballage de caisse en bois standard d'exportation

Délai de livraison:

15-30 jours ouvrables

Conditions de paiement:

T/T

Capacité d'approvisionnement:

50 ensembles/mois

Description du produit

GRM602 Pompes à vide sèche à racines à plusieurs étages Solution de capacité moyenne de 600 m3/h

La GRM601 est une pompe à vide sèche à racines multifase de capacité moyenne offrant une vitesse de pompage de 600 m3/h avec une impressionnante pression finale de ≤ 0,15 Pa.Les moteurs synchrones à aimants permanents de 9 kW fournissent un vide sans huile fiable pour les semi-conducteurs, les applications photovoltaïques et les batteries au lithium.

Principales caractéristiques

Conception des racines en plusieurs étapes:Vitesse de pompage élevée avec faible consommation d'énergie
Configuration à double moteur:10,9 + 1,9 kW pour un fonctionnement équilibré et efficace
Pression ultérieure extrêmement basse:≤ 0,15 Pa pour les processus exigeants
Il est très silencieux.≤ 63 dB (A) idéal pour les salles blanches
Mécanisme sans huile:Zéro contamination par l'huile pour les procédés sensibles
Traitement supérieur des particules:Structure avancée du rotor pour les procédés poussiéreux
Intégration compacte:865 * 344 * 751 mm, 260 kg
Insensible à la poussière et à la vapeur:Fiable avec les sous-produits du procédé et l'humidité
Sécurisation avancée:Sceaux de lèvres + labyrinthe + protection contre la purge d'azote
Renseignements à distance:I/O et RS485 (Modbus) pour l'automatisation des usines

Spécifications techniques

Modèle	GRM602
Vitesse de pompage	600 m3/h
Pression finale (sans épuration)	≤ 0,15 Pa
Puissance du moteur	1.9 + 1,9 kW
Voltage	380 V (3 phases)
Connexion d'entrée	Pour les produits de base
Connexion de sortie	Le KF25
Niveau de bruit	≤ 63 dB (A)
Le poids	260 kg
Dimensions (LWH)	865 * 344 * 751 mm
Pression de l'eau de refroidissement	00,6 MPa
Flux d'eau de refroidissement	≥ 4 L/min
N2 Pression de purge	00,6 MPa
Flux de purge de N2	12 ‰ 50 L/min
Température de fonctionnement	5°C à 40°C; ≤ 90% de RH

Applications

Les composants utilisés sont les composants suivants: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metal Etch, Silicon Etch
Photovoltaïque: croissance des cristaux, fabrication de cellules solaires
Batterie au lithium: séchage des cellules, remplissage d'électrolytes, dégazage
Affichage à écran plat: procédés de fabrication des LED et des LCD

Balises:

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

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GRH1202 Pompes à vide à griffes sèches 1200 m3/h Pompes à vide industrielles sans huile pour procédés de CVD à semi-conducteurs

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GRH6002 Pompes à vide à griffes sèches 6000 m3/h Pompes à vide sans huile ultra-haute capacité pour procédés de semi-conducteurs

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GRM602 Pompes à vide à racines sèches à plusieurs étages 600 m3/h Pompes à vide à capacité moyenne sans huile pour processus de semi-conducteurs

High Light

Mettre en évidence:

Pompe à vide sèche sans huile GRM602

pompe à vide à racines à plusieurs étapes

Pompe à vide de processus de semi-conducteur

GRM602 Pompes à vide sèche à racines à plusieurs étages Solution de capacité moyenne de 600 m3/h

Principales caractéristiques

Spécifications techniques

Applications

pompe à vide turbomoléculaire,

Pompes à vide élevé,

Pompe à vide sèche sans huile GRM602

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

GRH1202 Pompes à vide à griffes sèches 1200 m3/h Pompes à vide industrielles sans huile pour procédés de CVD à semi-conducteurs

GRH6002 Pompes à vide à griffes sèches 6000 m3/h Pompes à vide sans huile ultra-haute capacité pour procédés de semi-conducteurs

Pompes à vide sèche refroidie à l'eau 1200m3/h ≤ 0,5Pa exemptes d'huile pour les applications industrielles

Pompes à vide sec refroidies à l'eau 200m3/h,≤ 0,5Pa,1.9kw, GRM201

GRM1201 Pompes à vide sec à racines multifase 1200 m3/h sans huile pour semi-conducteurs PECVD MOCVD

Pompe à vide à griffes sèches GRH1802, 1800 m³/h, haute vitesse, sans huile, pour la fabrication de semi-conducteurs