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Pompe à vide à griffes sèches GRH1802, 1800 m³/h, haute vitesse, sans huile, pour la fabrication de semi-conducteurs

Name: Pompe à vide à griffes sèches GRH1802, 1800 m³/h, haute vitesse, sans huile, pour la fabrication de semi-conducteurs
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRH1802
Price: 150,000.00 USD
Availability: InStock

Détails du produit:

Lieu d'origine:	Chine
Nom de marque:	Baosi
Numéro de modèle:	GRH1802

Informations détaillées

Lieu d'origine:

Chine

Nom de marque:

Baosi

Numéro de modèle:

GRH1802

Vitesse de pompage:

1800 m³/h

Pression ultime:

≤0,5 Pa

Puissance du moteur:

7,5+4,5 kW

Tension:

380 V/triphasé

Entrée:

ISO160

Sortie:

Le prix de vente

Bruit:

＜70 dB(A)

Poids:

472 kilogrammes

Dimensions:

935×420×795 millimètres

Eau de refroidissement:

0,3-0,6 MPa, 6 L/min

Purge N2:

0,25-0,69 MPa, 4-96 L/min

Mettre en évidence:

High Light

Mettre en évidence:

pompe à vide sèche à grande vitesse

pompe à vide à griffes de 1800m3h

pompe à vide à procédé semi-conducteur

Informations commerciales

Quantité de commande min:

1 ensemble

Prix:

USD 20000-280000/Set

Détails d'emballage:

Emballage de caisse en bois standard d'exportation

Délai de livraison:

15-30 jours ouvrables

Conditions de paiement:

T/T

Capacité d'approvisionnement:

50 ensembles/mois

Description du produit

Pompe à vide à griffes sèches GRH1802 — Solution industrielle sans huile de 1 800 m³/h

La GRH1802 est une pompe à vide à griffes sèches hautes performances de la série GRH, offrant une vitesse de pompage de 1 800 m³/h avec une pression ultime ≤0,5 Pa. Son mécanisme à griffes sans huile la rend idéale pour les processus de fabrication de semi-conducteurs, photovoltaïques et de batteries au lithium qui exigent des environnements sous vide sans contamination.

Principales fonctionnalités

Mécanisme à griffes sans huile :Pas d'huile ni de fluide de travail dans la chambre de la pompe – garantit la propreté du processus
Moteur synchrone à aimant permanent :Efficacité énergétique supérieure pour des coûts d’exploitation réduits
Conception avancée du rotor :Capacité améliorée d’évacuation des poussières pour les conditions de processus difficiles
Insensible à la poussière et à la vapeur :Gère de manière fiable la poussière et la vapeur d’eau dans les gaz pompés
Compact et intégré :Conception peu encombrante (935 * 420 * 795 mm, 472 kg)
Protection complète :Protection complète avec un contrôle adaptatif puissant
Faibles vibrations et bruit :En dessous de 70 dB(A) à la pression ultime
Système d'étanchéité avancé :Joint à lèvre + joint labyrinthe + purge à l'azote pour vide sans huile
Surveillance à distance :Interface E/S et RS485 (Modbus) pour contrôle à distance

Spécifications techniques

Modèle	GRH1802
Vitesse de pompage	1800 m³/h
Pression ultime	≤0,5 Pa
Puissance du moteur	7,5 + 4,5 kW
Tension	380 V (triphasé)
Connexion d'entrée	ISO160
Connexion de sortie	KF40
Niveau de bruit	＜70 dB(A)
Poids	472 kg
Dimensions (LLH)	935 * 420 * 795 millimètres
Pression de l'eau de refroidissement	0,3 à 0,6 MPa
Débit d'eau de refroidissement	6 L/min
Pression de purge N₂	0,25 à 0,69 MPa
Débit de purge N₂	4 à 96 L/min
Température de fonctionnement	5 à 40 °C ; ≤80 % HR

Applications

Semi-conducteur : gravure, implantation ionique, CVD (ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD)
Photovoltaïque : Fours de croissance cristalline, fabrication de cellules solaires
Batterie au lithium : séchage sous vide des cellules, remplissage d'électrolyte, dégazage

Balises:

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

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GRH1202 Pompes à vide à griffes sèches 1200 m3/h Pompes à vide industrielles sans huile pour procédés de CVD à semi-conducteurs

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GRH6002 Pompes à vide à griffes sèches 6000 m3/h Pompes à vide sans huile ultra-haute capacité pour procédés de semi-conducteurs

Obtenez le meilleur prix

GRM602 Pompes à vide à racines sèches à plusieurs étages 600 m3/h Pompes à vide à capacité moyenne sans huile pour processus de semi-conducteurs

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Pompes à vide sèche refroidie à l'eau 1200m3/h ≤ 0,5Pa exemptes d'huile pour les applications industrielles

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Pompe à vide à griffes sèches GRH1802, 1800 m³/h, haute vitesse, sans huile, pour la fabrication de semi-conducteurs

High Light

Mettre en évidence:

pompe à vide sèche à grande vitesse

pompe à vide à griffes de 1800m3h

pompe à vide à procédé semi-conducteur

Pompe à vide à griffes sèches GRH1802 — Solution industrielle sans huile de 1 800 m³/h

Principales fonctionnalités

Spécifications techniques

Applications

pompe à vide turbomoléculaire,

Pompes à vide élevé

Pompes à vide sèche à racines économes en énergie, 4200 m3/h, GRM4201-ETL pour l'industrie

Pompe à vide sèche Roots GRM4201-ETL 4200 m³/h ≤0,5 Pa refroidie à l'eau pour les applications de vide industriel

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

GRH1202 Pompes à vide à griffes sèches 1200 m3/h Pompes à vide industrielles sans huile pour procédés de CVD à semi-conducteurs

GRH6002 Pompes à vide à griffes sèches 6000 m3/h Pompes à vide sans huile ultra-haute capacité pour procédés de semi-conducteurs

GRM602 Pompes à vide à racines sèches à plusieurs étages 600 m3/h Pompes à vide à capacité moyenne sans huile pour processus de semi-conducteurs

Pompes à vide sèche refroidie à l'eau 1200m3/h ≤ 0,5Pa exemptes d'huile pour les applications industrielles