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GRM1201 Pompes à vide sec à racines multifase 1200 m3/h sans huile pour semi-conducteurs PECVD MOCVD

Name: GRM1201 Pompes à vide sec à racines multifase 1200 m3/h sans huile pour semi-conducteurs PECVD MOCVD
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM1201
Price: 10,500.00 USD
Availability: InStock

Détails du produit:

Lieu d'origine:	Chine
Nom de marque:	Baosi
Certification:	CE
Numéro de modèle:	GRM1201

Informations détaillées

Lieu d'origine:

Chine

Nom de marque:

Baosi

Certification:

Numéro de modèle:

GRM1201

Vitesse de pompage:

1200 m3/h

Pression ultime:

≤0,15 Pa

Puissance du moteur:

1,9+1,9 kW

Tension:

380 V/triphasé

Entrée:

ISO160

Sortie:

KF25

Bruit:

≤63 dB(A)

Poids:

260 kg

Dimensions:

865×344×751 millimètres

Eau de refroidissement:

0,1-0,6 MPa, ≥4 L/min

Purge N2:

0,2-0,6 MPa, 12-50 L/min

Mettre en évidence:

High Light

Mettre en évidence:

pompe à vide à racines à grande vitesse

Pompes à vide à sec de 1200 m3h

PECVD vide de procédé MOCVD

Informations commerciales

Quantité de commande min:

1 ensemble

Prix:

USD 8500-12500/Set

Détails d'emballage:

Emballage de caisse en bois standard d'exportation

Délai de livraison:

15-30 jours ouvrables

Conditions de paiement:

T/T, L/C

Capacité d'approvisionnement:

50 ensembles/mois

Description du produit

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM1201, 1200 m³/h, sans huile, haute vitesse, pour semi-conducteurs PECVD MOCVD

Pompe à vide sèche pour racines multi-étages GRM1201 — Solution haute vitesse de 1 200 m³/h

La GRM1201 est une pompe à vide sèche à plusieurs étages à haute vitesse délivrant une vitesse de pompage de 1 200 m³/h avec une pression ultime de ≤0,15 Pa. Partageant la même plate-forme compacte que la GRM601 (865 * 344 * 751 mm, 260 kg) mais avec une entrée ISO160 pour un débit plus élevé, elle excelle dans les domaines PECVD, MOCVD et exige des semi-conducteurs propres et moyens. traiter les demandes.

Principales fonctionnalités

Racines multi-étapes à grande vitesse :1 200 m³/h avec une faible consommation d'énergie
Efficacité du double moteur :Moteurs synchrones à aimants permanents 1,9+1,9 kW
Excellente pression ultime :≤0,15 Pa répond aux exigences exigeantes des processus
Ultra-silencieux :≤63 dB(A) — niveau sonore compatible avec une salle blanche
Grande entrée ISO160 :Gère un débit de gaz élevé pour les applications à l’échelle de la production
Aspirateur propre sans huile :Aucune contamination par l'huile pour les processus de semi-conducteurs sensibles
Gestion supérieure de la poussière :Conception de rotor avancée pour les environnements riches en particules
Plateforme compacte :Même encombrement que le GRM601 — intégration facile en ligne
Système de triple étanchéité :Joint à lèvres + labyrinthe + purge à l'azote garantissent un vide sans huile
Connectivité intelligente :E/S et RS485 (Modbus) pour une intégration en usine à distance

Spécifications techniques

Modèle	GRM1201
Vitesse de pompage	1200 m³/h
Pression ultime (sans purge)	≤0,15 Pa
Puissance du moteur	1,9 + 1,9 kW
Tension	380 V (triphasé)
Connexion d'entrée	ISO160
Connexion de sortie	KF25
Niveau de bruit	≤63 dB(A)
Poids	260 kg
Dimensions (LLH)	865344751mm
Pression de l'eau de refroidissement	0,1 à 0,6 MPa
Débit d'eau de refroidissement	≥4 L/min
Pression de purge N₂	0,2 à 0,6 MPa
Débit de purge N₂	12 à 50 L/min
Température de fonctionnement	5 à 40 °C ; ≤90 % HR

Applications

Semi-conducteur : PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, gravure sur métal, gravure sur silicium
Photovoltaïque : Lignes de fabrication de cellules solaires à haut débit
Batterie au lithium : séchage de cellules et traitement des électrolytes à l'échelle de la production
Écran plat : fabrication OLED et LCD

Balises:

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

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GRH1202 Pompes à vide à griffes sèches 1200 m3/h Pompes à vide industrielles sans huile pour procédés de CVD à semi-conducteurs

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GRH6002 Pompes à vide à griffes sèches 6000 m3/h Pompes à vide sans huile ultra-haute capacité pour procédés de semi-conducteurs

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GRM602 Pompes à vide à racines sèches à plusieurs étages 600 m3/h Pompes à vide à capacité moyenne sans huile pour processus de semi-conducteurs

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Pompes à vide sèche refroidie à l'eau 1200m3/h ≤ 0,5Pa exemptes d'huile pour les applications industrielles

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GRM1201 Pompes à vide sec à racines multifase 1200 m3/h sans huile pour semi-conducteurs PECVD MOCVD

High Light

Mettre en évidence:

pompe à vide à racines à grande vitesse

Pompes à vide à sec de 1200 m3h

PECVD vide de procédé MOCVD

pompe à vide turbomoléculaire,

Pompes à vide élevé

Pompes à vide sèche à racines économes en énergie, 4200 m3/h, GRM4201-ETL pour l'industrie

Pompe à vide sèche Roots GRM4201-ETL 4200 m³/h ≤0,5 Pa refroidie à l'eau pour les applications de vide industriel

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

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Pompes à vide sèche refroidie à l'eau 1200m3/h ≤ 0,5Pa exemptes d'huile pour les applications industrielles