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Pompe à vide à griffes sèches GRH3001, conception sans huile, 3 000 m³/h, pour processus de semi-conducteurs

Name: Pompe à vide à griffes sèches GRH3001, conception sans huile, 3 000 m³/h, pour processus de semi-conducteurs
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRH3001
Price: 15,650.00 USD
Availability: InStock

Détails du produit:

Lieu d'origine:	Chine
Nom de marque:	Baosi
Certification:	CE
Numéro de modèle:	GRH3001

Informations détaillées

Lieu d'origine:

Chine

Nom de marque:

Baosi

Certification:

Numéro de modèle:

GRH3001

Vitesse de pompage:

³ /h de 3000 m

Pression ultime:

≤0,5 Pa

Puissance du moteur:

11+7,5 kW

Tension:

380 V/triphasé

Entrée:

ISO160

Sortie:

Le prix de vente

Bruit:

≤ 70 dB (A)

Poids:

770 kilogrammes

Dimensions:

922×516×988 millimètres

Eau de refroidissement:

0,1-0,6 MPa, 11 L/min

Purge N2:

0,2-0,6 MPa, 43/97/123 L/min

Mettre en évidence:

High Light

Mettre en évidence:

Pompes à vide sèche de haute capacité

pompes à vide à griffes de 3000m3h

pompes à vide à semi-conducteurs industrielles

Informations commerciales

Quantité de commande min:

1 ensemble

Prix:

USD 12800-18500/Set

Détails d'emballage:

Emballage de caisse en bois standard d'exportation

Délai de livraison:

20-35 jours ouvrables

Conditions de paiement:

T/T, L/C

Capacité d'approvisionnement:

30 ensembles/mois

Description du produit

Pompe à vide à griffes sèches GRH3001, 3000 m³/h, haute capacité, sans huile, pour processus industriel de semi-conducteurs

Pompe à vide à griffes sèches GRH3001 — Solution sans huile haute capacité de 3 000 m³/h

La GRH3001 est une pompe à vide à becs secs de grande capacité offrant une vitesse de pompage de 3 000 m³/h avec une pression ultime ≤ 0,5 Pa. Avec une puissante configuration à double moteur de 11 + 7,5 kW, elle gère les processus de fabrication de semi-conducteurs, photovoltaïques et de batteries au lithium les plus exigeants tout en maintenant un fonctionnement sans contamination.

Principales fonctionnalités

Conception sans huile haute capacité :Vitesse de pompage de 3 000 m³/h sans risque de contamination par l'huile
Système à double moteur :Moteurs synchrones à aimants permanents de 11+7,5 kW pour une efficacité maximale
Rotor à griffes avancé :Gestion supérieure de la poussière et longue durée de vie dans les environnements difficiles
Tolérant à la poussière et à la vapeur :Insensible aux particules et à la vapeur d'eau dans les gaz de procédé
Intégration compacte :Encombrement de 922 * 516 * 988 mm avec une construction robuste de 770 kg
Protection complète :Fonctionnalités complètes de sécurité et de surveillance avec contrôle adaptatif
Fonctionnement à faible bruit :≤70 dB(A) pour des environnements de travail confortables
Scellement multicouche :Joint à lèvre + joint labyrinthe + purge à l'azote pour un vide sans huile garanti
Connectivité intelligente :Surveillance et contrôle à distance E/S et RS485 (protocole Modbus)

Spécifications techniques

Modèle	GRH3001
Vitesse de pompage	3000 m³/h
Pression ultime	≤0,5 Pa
Puissance du moteur	11 + 7,5 kW
Tension	380 V (triphasé)
Connexion d'entrée	ISO160
Connexion de sortie	KF40
Niveau de bruit	≤70 dB(A)
Poids	770 kg
Dimensions (LLH)	922 * 516 * 988 millimètres
Pression de l'eau de refroidissement	0,1 à 0,6 MPa
Débit d'eau de refroidissement	11 L/min
Pression de purge N₂	0,2 à 0,6 MPa
Débit de purge N₂	43/97/123 L/min
Température de fonctionnement	5 à 40 °C ; ≤90 % HR

Applications

Semi-conducteur:Gravure, implantation ionique, CVD (ALD, LPCVD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD)
Photovoltaïque :Croissance cristalline, procédés de fabrication de cellules solaires
Batterie au lithium :Séchage sous vide de cellules, remplissage d'électrolyte, processus de dégazage

Balises:

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

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GRH1202 Pompes à vide à griffes sèches 1200 m3/h Pompes à vide industrielles sans huile pour procédés de CVD à semi-conducteurs

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GRH6002 Pompes à vide à griffes sèches 6000 m3/h Pompes à vide sans huile ultra-haute capacité pour procédés de semi-conducteurs

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GRM602 Pompes à vide à racines sèches à plusieurs étages 600 m3/h Pompes à vide à capacité moyenne sans huile pour processus de semi-conducteurs

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Pompes à vide sèche refroidie à l'eau 1200m3/h ≤ 0,5Pa exemptes d'huile pour les applications industrielles

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Pompe à vide à griffes sèches GRH3001, conception sans huile, 3 000 m³/h, pour processus de semi-conducteurs

High Light

Mettre en évidence:

Pompes à vide sèche de haute capacité

pompes à vide à griffes de 3000m3h

pompes à vide à semi-conducteurs industrielles

pompe à vide turbomoléculaire,

Pompes à vide élevé

Pompes à vide sèche à racines économes en énergie, 4200 m3/h, GRM4201-ETL pour l'industrie

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