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GRM4201 Grande pompe à vide sèche multi-étages pour racines 4200 m³/h sans huile pour transfert avec verrouillage de charge

Name: GRM4201 Grande pompe à vide sèche multi-étages pour racines 4200 m³/h sans huile pour transfert avec verrouillage de charge
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM4201
Price: 28,500.00 USD
Availability: InStock

Détails du produit:

Lieu d'origine:	Chine
Nom de marque:	Baosi
Certification:	CE
Numéro de modèle:	GRM4201

Informations détaillées

Lieu d'origine:

Chine

Nom de marque:

Baosi

Certification:

Numéro de modèle:

GRM4201

Pression ultime:

≤0,5 Pa

Vitesse de pompage:

4200 m³/h

Entrée:

ISO160

Dimensions:

1695×600×1450 mm (principal) + 295×600×1450 mm (booster)

Bruit:

≤ 75 dB (a)

Poids:

1400KG

Mettre en évidence:

High Light

Mettre en évidence:

Pompes à vide sèche à grandes racines

pompes à vide à verrouillage de charge de 4200m3h

pompes à semi-conducteurs de grande capacité

Informations commerciales

Quantité de commande min:

1 ensemble

Prix:

USD 22000-35000/Set

Détails d'emballage:

Emballage de caisse en bois standard d'exportation

Délai de livraison:

30-45 jours ouvrables

Conditions de paiement:

T/T, L/C

Capacité d'approvisionnement:

15 SETS/MONTH

Description du produit

GRM4201 Grande pompe à vide à racines sèches à plusieurs étages ¥ 4200 m3/h Solution de grande capacité

Le GRM4201 est une pompe à vide sèche à racines à grande échelle à plusieurs étapes spécialement conçue pour les chambres Load-Lock, les chambres de transfert et les applications de pompage rapide.Avec une vitesse de pompage de 4200 m3/h et une configuration à double moteur de 13+10 kW, il répond aux exigences de la fabrication de cellules solaires à hétérojunction et des gigofabriques de batteries au lithium où le cycle rapide et l'intégrité du vide sont essentiels.

Principales caractéristiques

Capacité extrêmement élevée:4200 m3/h pour les cycles rapides de pompage à basse pression
Des racines à plusieurs étapes + booster:Vacuum élevé avec une large plage de pression de travail
Puissant double moteur:Moteurs synchrones à aimants permanents de 13+10 kW
Conception unique du rotor:Optimisé pour une faible consommation d'énergie avec une efficacité élevée
Vacuum propre sans huile:Aucune contamination par l'huile ̇ idéal pour les semi-conducteurs et les appareils solaires
Fabrication de précision:Rotors à machinerie CNC avancée, entièrement interchangeables
Support de roulement à deux extrémités:Support du rotor extrêmement fiable avec une vibration minimale
Une fiabilité de démarrage supérieure:Conçus pour des cycles de processus exigeants
Sécurisation avancée:Sceaux labyrinthiques + barrière à l'huile + purge d'azote
Moteur scellé refroidi à l'eau:Élimine le risque de fuite d'huile, prolonge la durée de vie
Contrôle intelligent:Début/arrêt à une touche avec E/S et RS485 (Modbus-RTU)

Spécifications techniques

Modèle	GRM4201
Vitesse de pompage	4200 m3/h
Pression finale (sans épuration)	≤ 0,5 Pa
Puissance du moteur	13 + 10 kW
Voltage	380 V (3 phases)
Connexion d'entrée	Pour les appareils électroniques
Connexion de sortie	50 francs français
Niveau sonore (avec silencieux)	Le niveau de décharge doit être supérieur ou égal à:
Le poids	1400 kg (pompe principale)
Dimensions de la pompe principale (LWH)	1695 * 600 * 1450 mm
Dimensions Booster (LWH)	295 * 600 * 1450 mm
Pression de l'eau de refroidissement	00,7 MPa
Flux d'eau de refroidissement	8 ̊10 L/min
N2 Pression de purge	0.2·0,5 MPa
Flux de purge de N2	0·120 L/min
Température de fonctionnement	5 ̊40°C; ≤ 80% de RH

Applications

Fabrication de semi-conducteurs: chambres de chargement-verrouillage, modules de transfert, interfaces de processus
Cellule solaire à hétérojunction (HJT): PECVD sous vide, pompage rapide
Gigafabriques de batteries au lithium: séchage de cellules et traitement sous vide à grande échelle
Couche sous vide: blocage de charge pour le transfert du substrat tout en maintenant le vide de la chambre

Balises:

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

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GRH1202 Pompes à vide à griffes sèches 1200 m3/h Pompes à vide industrielles sans huile pour procédés de CVD à semi-conducteurs

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GRH6002 Pompes à vide à griffes sèches 6000 m3/h Pompes à vide sans huile ultra-haute capacité pour procédés de semi-conducteurs

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GRM602 Pompes à vide à racines sèches à plusieurs étages 600 m3/h Pompes à vide à capacité moyenne sans huile pour processus de semi-conducteurs

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Pompes à vide sèche refroidie à l'eau 1200m3/h ≤ 0,5Pa exemptes d'huile pour les applications industrielles

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GRM4201 Grande pompe à vide sèche multi-étages pour racines 4200 m³/h sans huile pour transfert avec verrouillage de charge

High Light

Mettre en évidence:

Pompes à vide sèche à grandes racines

pompes à vide à verrouillage de charge de 4200m3h

pompes à semi-conducteurs de grande capacité

pompe à vide turbomoléculaire,

Pompes à vide élevé

Pompes à vide sèche à racines économes en énergie, 4200 m3/h, GRM4201-ETL pour l'industrie

Pompe à vide sèche Roots GRM4201-ETL 4200 m³/h ≤0,5 Pa refroidie à l'eau pour les applications de vide industriel

Pompe à vide sèche à plusieurs étages GRM201, 200 m³/h, pompe à vide compacte sans huile pour processus de nettoyage des semi-conducteurs

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