Pompe à vide sèche refroidie à l'eau BAOSI GRM601, 600 m³/h, ≤0,15 Pa, 1,9+1,9 kW

Caractéristique :

• Faible consommation d'énergie,
• Vitesse de pompage élevée,
• Forte capacité d'élimination de la poussière,
• Capacité à transporter facilement des gaz de procédé condensables.
• La vitesse de pompage stable la rend adaptée aux procédés avec de grands volumes d'échappement, offrant une grande fiabilité et de faibles coûts d'exploitation et de maintenance. 

• Utilise un moteur synchrone à aimant permanent pour une consommation d'énergie réduite.
• La structure avancée du rotor améliore la capacité d'élimination de la poussière de la pompe.
• Insensible à la poussière et à la vapeur d'eau dans le gaz pompé ;
• Structure compacte, petite taille globale et rendement élevé du système ;
• Fonctions de protection complètes et forte auto-adaptabilité ;
• Faibles vibrations et bruit pendant le fonctionnement ; un système d'étanchéité à lèvres et d'étanchéité labyrinthique avancé, combiné à une purge à l'azote, assure efficacement une chambre de pompe sans huile, améliorant la propreté du vide de la chambre de procédé.
• Des fonctions de contrôle et de surveillance à distance sont possibles via l'interface E/S et l'interface RS-485 (protocole Moudbus).

PARAMÈTRE TECHNIQUE

Courbe de pompage

DESSIN DIMENSIONNEL DE L'APERÇU 

Application :

• Dans l'industrie des semi-conducteurs, les procédés propres, modérés et agressifs incluent la gravure, l'implantation ionique et le CVD.
• Dans l'industrie photovoltaïque, méfiez-vous des fours de croissance et des procédés de fabrication de cellules.
• Dans l'industrie des batteries lithium-ion, des procédés tels que le séchage sous vide, le remplissage d'électrolyte et le dégazage des cellules de batterie sont cruciaux.